Лазерне мікро- наноструктурування та легування приповерхневих шарів напівпровідникових матеріалів

Дисертація на здобуття наукового ступеня

кандидата технічних наук

Науковий керівник / консультанти

д.ф.-м.н.,проф. Попович Дмитро Іванович

Спеціальність

05.27.06 – Технологія, обладнання та виробництво електронної техніки

Дата захисту

13.05.2021 14:30

Захист дисертації з використанням платформи

Microsoft Teams

Статус

дисертація захищена

Приєднані файли

Автореферат дисертації на здобуття наукового ступеня кандидата технічних наук1.09 МБ

Дисертація на здобуття наукового ступеня кандидата технічних наук3.97 МБ

Відгук офіційного опонента д.т.н., с.н.с. Круковського С.І.1.3 МБ

Відгук офіційного опонента д. ф.-м. н., с.н.с. Семчука О.Ю.823.4 КБ