Модифікування структур системи кремній – пористий кремній – нанорозмірні плівки оксидів (SіO2, SnO2, ZnO) для пристроїв електронної техніки

Дисертація на здобуття наукового ступеня
доктора технічних наук
Науковий керівник / консультанти
доктор технічних наук, професор Левінзон Давід Іделевич
Спеціальність
05.27.06 — технологія, обладнання та виробництво електронної техніки
Дата захисту
16.03.2017 16:10
Статус
дисертація захищена