До складу лабораторії входять:
- Лабораторія «Напівпровідникові плівки» (гол. корп., кімн. 030).
- Лабораторія структурних досліджень (гол. корп., кімн. 030-а).
- Лабораторія магнітних вимірювань (гол. корп., кімн. 031).
- Лабораторія досліджень фізичних властивостей суперіонних плівок (гол. корп., кімн. 033).
- Лабораторія тонких плівок (гол. корп., кімн. 034).
- Лабораторія «Фізики контактних явищ» (гол. корп., кімн. 035).
- Лабораторія електронографії (3 корп., кімн. 122).
- Лабораторія електроної мікроскопії (3 корп., кімн. 122- а).
- Лабораторія досліджень оптичних властивостей твердих тіл (3 корп., кімн. 05).
- Лабораторія «Фізики процесів росту» (3 корп., кімн. 016).
- «Лабораторія вакуумної техніки» (3 корп., кімн. 019).
- «Технологічна вакуумна лабораторія» (3 корп., кімн. 02).
- «Технологічна лабораторія» (3 корп., кімн. 03).